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英特尔董事:蚀刻技术将取代光刻成芯片制造核心
内容简介:6月20日消息,据媒体报道,英特尔一位董事提出,未来晶体管设计(如GAAFET和CFET)可能降低芯片制造对先进光刻设备(尤其是EUV光刻机)的依赖。这一观点挑战了当前先进芯片制造的核心范式。 目前,ASML的极紫外(EUV)光刻机是制造高端芯片(如7nm及以下节点)的关键设备,它负责将极其微小的电路设计“打印”到硅晶圆上。 然而,该董事认为...
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