内容简介：【TechWeb】在当下的芯片制造领域，先进工艺（特别是 7nm 以下）基本都依赖 ASML 的 EUV 极紫外光刻机，按照传统认知，没有 EUV 光刻机就难以造出先进工艺的芯片。不过，近期出现了一条打破常规的消息。 前段时间，有报道称世界上出现了一种“特殊”的 5nm 技术。这种 5nm 采用了与传统完全不同的技术路线，巧妙避开了对 EUV 光刻机的依赖。它使用步进扫描光刻机...
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