内容简介：“目前，我们正加快建设基于深紫外光刻的光子芯片标准加工工艺平台。平台建成后可加工与批量生产180纳米线宽光子芯片。”6月12日，中航捷锐（西安）光电技术有限公司综合管理部经理吴小宇说。 “90后”吴小宇已是科研新星。今年4月，她申报的“光子集成芯片光纤陀螺微纳制造关键技术研究”项目获得了省科协青年人才托举计划（以下简称“青托计划”）支持。...
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